智能閥門&閥門彈簧開(kāi)啟壓力解決方案
設(shè)備工作流程說(shuō)明
放置產(chǎn)品 → 正壓檢測(cè) → (合格) →負(fù)壓檢測(cè) → 顯示結(jié)果/報(bào)警
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雙工位、雙工位互不干擾、可獨(dú)立/同時(shí)測(cè)試
(對(duì)于單個(gè)工位)正負(fù)壓雙通道、雙通道氣密性互不影響
擁有數(shù)字和曲線顯示兩種方式?？梢栽O(shè)定合格判定范圍
I/O交互和232通訊
控制管路使用銅管
流量控制需要恒流量自動(dòng)控制
設(shè)備關(guān)鍵參數(shù)
技術(shù)規(guī)格書(shū)參數(shù)
有效分辨率≤1pa
壓力控制范圍(包括調(diào)節(jié)范圍和檢測(cè)范圍):- 80 Kpa ~ +500Kpa
流量控制范圍(包括調(diào)節(jié)范圍和檢測(cè)范圍):±0~±200sccm
精度 0.1%F.S.
分辨率 1pa
動(dòng)態(tài)恒流量控制(數(shù)控氣壓、逐步提高壓力)
在相對(duì)濕度≤85%RH的環(huán)境下正常工作
在溫度—5°C~45°C的環(huán)境下正常工作
樣品測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
AP31
正壓恒流 10L/h 166.6sccm 開(kāi)啟壓力140kpa~160kpa G
負(fù)壓恒流3L/h 50sccm 開(kāi)啟壓力0~-10kpa
流量:檢測(cè)、控制、流量和壓力的關(guān)系
EX21
正壓恒流 10L/h 開(kāi)啟壓力30~40kpa
負(fù)壓恒流 3L/h 開(kāi)啟壓力0~-10Kpa
G A D 101.3Kpa A 0kpaG
0kpaA -100kpaG
D針對(duì)于傳感器 2接頭 返回壓力差 ±G
設(shè)備工作參數(shù)
該樣品實(shí)際測(cè)試需要的參數(shù)(最低標(biāo)準(zhǔn))
有效分辨率≤1pa
壓力控制范圍(包括調(diào)節(jié)范圍和檢測(cè)范圍):- 50 Kpa ~ +200Kpa
流量控制范圍(包括調(diào)節(jié)范圍和檢測(cè)范圍):±0~±200sccm
分辨率 1pa
動(dòng)態(tài)恒流量控制
測(cè)試原理講解 方案一
一個(gè)傳感器用于檢測(cè)氣壓變化過(guò)程
爆裂點(diǎn)是一個(gè)極點(diǎn)
記錄氣壓的壓力降/突變
記錄后進(jìn)行比較
測(cè)試原理講解 方案二
一個(gè)傳感器檢測(cè)氣壓的變化過(guò)程
一個(gè)傳感器用于檢測(cè)變化點(diǎn)(時(shí)間/觸發(fā)條件)
記錄氣壓曲線(二維數(shù)組/隊(duì)列/單向表)
確認(rèn)開(kāi)啟后再進(jìn)行分析
設(shè)計(jì)測(cè)試
1.壓流關(guān)系
氣源壓力 160Kpa 4mm 流量?
2.檢測(cè)流量
流量傳感器(最大耐壓180kpa)
壓力差算流量
3.控制流量
流量變送器、比例閥(DA\PID)恒流量
逐步提升壓力(壓差)控制流量 -> 精密/高速DA輸出
傳感器選型
壓力傳感器
一個(gè)負(fù)壓MPX4250
一個(gè)正壓精度(200~300kpa以下)MS4525
一個(gè)正壓量程 MS4525SS5A100G/AP
一個(gè)精度(-80~250KpaG)NXP/TE
一個(gè)正壓量程(0~600kapG/A)
流量傳感器(暫時(shí)不考慮)